
литография, ионная имплантация, диффузия и окисление, осаждение,
травление, очистка, планаризация и измерения.
Литография играет здесь ведущую роль. Это метод воспроизведения
изображений, при котором точно копируется каждый схемный элемент, причем
требуемый инструментарий также относится к числу наиболее дорогостоящих
видов технологического оборудования. В ходе этого процесса установки
фотолитографии с последовательным шаговым экспонированием, оснащенные
прецизионной оптикой, фокусируют луч с длиной волны 365 нм (в скором
времени это будет 248 нм, а затем и 193 нм) на пластину, покрытую
светочувствительной пленкой фоторезиста.54 (К изготовителям установок с
последовательным шаговым экспонированием, кварца и других материалов
предъявляются все более жесткие требования, обусловленные переходом на
более короткие длины волн). Далее следует травление или ионная имплантация.
В результате селективного травления экспонированных пленок образуются
канавки, заполняемые в дальнейшем металлом. Совершенно другой процесс
представляет собой ионная имплантация, которая дает инженерам возможность
с высокой точностью изменять электрические свойства кристалла путем
внедрения в поверхность кремния заряженных атомов (ионов), ускоренных
электрическим полем.
В продолжение темы микропроцессоров следует отметить те разработки,
которые мы можем ожидать уже совсем скоро - в 2017 году. Так, компания
AMD планирует выпустить новую линейку процессоров, которая будет
выполнена по технологии 32 нм (новейшие процессоры Intel сделаны сейчас по
технологии 45 нм). В каждой из процессоров данной линейки будет входить 4
вычислительных ядра (CPU) и одно встроенное графическое ядро (GPU). То
есть это будут уже процессоры, основанные на новой технологии изготовления,
еще более совершенной, кроме того, имеющие встроенное графическое ядро.
Уже в следующем году AMD выпустит линейку процессоров под кодовым
54Столлингс, В.А. Структурная организация и архитектура компьютерных систем [Текст] / В.А. Столлингс. -
М.: Вильямс, 2011. - С. 543.
55